一种旋转靶材合金及其加工方法

基本信息

申请号 CN201910201557.4 申请日 -
公开(公告)号 CN109706345A 公开(公告)日 2019-05-03
申请公布号 CN109706345A 申请公布日 2019-05-03
分类号 C22C18/00(2006.01)I; C22C13/00(2006.01)I; C22C30/06(2006.01)I; C23C4/08(2016.01)I; C23C4/131(2016.01)I; C23C14/35(2006.01)I 分类 冶金;黑色或有色金属合金;合金或有色金属的处理;
发明人 戴登峰; 宋振亚; 彭孜; 闫鸣; 金燊超 申请(专利权)人 绍兴市天龙锡材有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 312000 浙江省绍兴市越城区东湖镇五联工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于低辐射玻璃镀膜技术领域,公开了一种旋转靶材合金及其加工方法,旋转靶材合金由背衬管和靶体两部分组成,靶体部分重量组成为:锌34.5~94%,锡5~60%,镍0.5~2%,锑0.3~1.5%,锆0.2~2%,加工步骤为:上述合金制成直径为1~2.5毫米的线材,然后通过电弧喷涂的工艺在背衬管上制作靶体,最终制成靶材;也可以把合金熔化后通过铸造成型的方法制造靶体,再将靶体与背衬管焊接组装成靶材。本发明在传统锡锌二元合金基础上引入了,锑、镍、铬等元素,最终通过磁控溅射的工艺在玻璃基体与银层之间制作一层介质膜,大幅提高了银层与玻璃基体之间的结合力及连接强度,满足了汽车工业对于低辐射玻璃的工艺性能要求。