宽调谐范围光谱成像传感器
基本信息
| 申请号 | CN201811299568.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109269644A | 公开（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申请公布号 | CN109269644A | 申请公布日 | 2020-10-02 |
| 分类号 | G01J3/433;G01J3/42;G01J3/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘舒扬;王天鹤;贾晓东 | 申请（专利权）人 | 航天光电科技发展（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 中国兵器工业集团公司专利中心 | 代理人 | 周恒 |
| 地址 | 300308 天津市东丽区空港经济区中环西路58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光谱分析技术领域，具体涉及一种宽调谐范围光谱成像传感器，该传感器是由分布式布拉格镜形成FP腔结构与图像传感器接合或一体式单片集成加工形成的。与现有技术相比较，本发明基于MEMS可调谐法珀腔光谱过滤原理，提供一种法珀腔与CMOS图像传感器单片集成的光谱图像传感器结构，形成了具有特定的光谱过滤分光特性的微型光电图像传感器。本发明对布拉格镜的膜系中心波长进行了独特的优化设计，保证了MEMS驱动FP腔长调谐波长的过程中，滤波带宽的最优化，避免往短波调谐时，造成滤波带宽的迅速恶化，提高了可调谐光谱成像传感器的光谱分辨率。 |
