基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法
基本信息
| 申请号 | CN201711443387.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108107376B | 公开（公告）日 | 2019-12-13 |
| 申请公布号 | CN108107376B | 申请公布日 | 2019-12-13 |
| 分类号 | G01R31/40（2014.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 姚明旭; 朱国俊; 方毅 | 申请（专利权）人 | 扬州市神州科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京文苑专利代理有限公司 | 代理人 | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 地址 | 225000 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法，该系统包括依次连接的匹配器、动态负载模拟器和等离子环境模拟设备。本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试系统，能够建立与客户现场条件相似的等离子环境，能够基于等离子环境模拟客户现场的阻抗点；本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试方法，能够通过模拟若干阻抗点验证射频电源在等离子环境下工作的性能及其可靠性并采集相关的数据，能够准确地验证电源的可靠性，澄清电源的故障，可以很好地满足实际应用的需要。 |
