一种薄膜厚度提取方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202111479093.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114383516A | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN114383516A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | G01B11/06（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 石雅婷;郭春付;李江辉;李伟奇;张传维 | 申请（专利权）人 | 武汉颐光科技有限公司 |
| 代理机构 | 武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 范三霞 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港四路10号6号楼（自贸区武汉片区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种薄膜厚度提取方法及系统，该方法包括：获取待测样件的测量光谱；确定样件膜系结构和每一层膜的光学常数；通过参数分离对正向模型进行分解，离线进行薄膜厚度无关的矩阵相乘运算；在线进行薄膜厚度相关的矩阵运算，得到仿真光谱；通过库匹配或非线性回归调整待测参数取值，直至仿真光谱与测量光谱匹配，得到待测薄膜厚度取值。通过该方案可以减少正向建模过程中的运算量，提高正向建模效率，进而提高薄膜厚度提取效率。 |
