一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201911369716.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111142587B | 公开（公告）日 | 2022-05-03 |
| 申请公布号 | CN111142587B | 申请公布日 | 2022-05-03 |
| 分类号 | G05D13/62（2006.01）I;G01N21/21（2006.01）I;G01N21/25（2006.01）I;G01N21/27（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I;G01B21/04（2006.01）I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 李伟奇;蒲俊鹏;陈军;张传维;郭春付;刘世元 | 申请（专利权）人 | 武汉颐光科技有限公司 |
| 代理机构 | 武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 谢洋 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地办公研发楼18栋4层5、6、7室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制方法，包括：步骤1、控制器同时输出驱动脉冲至第一电机与第二电机，将第一电机的编码器脉冲作为光谱仪的触发脉冲，并采集第一电机运转周期T、第二电机与第一电机的转速比m2；步骤2、采集校准时刻第一电机的编码器脉冲与第二电机的编码器脉冲的时间差t1，获取第一电机角速度ω、校准时刻第二补偿器的初始方位角CS2；步骤3、采集重启后第一电机的编码器脉冲与第二电机的编码器脉冲的时间差t2；计算出第一补偿器与第二补偿器的角度偏差Δα；步骤4、计算出重启后第二补偿器的初始方位角C′S2；步骤5、采集测量的当前时刻t，计算出第二补偿器方位角C'2。本发明不用在每次开机后均做校准，且降低了设备成本。 |
