一种基于椭偏仪的光谱匹配校准方法
基本信息
| 申请号 | CN202111466890.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114384017A | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN114384017A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | G01N21/21（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李伟奇;颜凡;陈军;石雅婷;郭春付;张传维 | 申请（专利权）人 | 武汉颐光科技有限公司 |
| 代理机构 | 武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 寇俊波 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港四路10号6号楼（自贸区武汉片区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种基于椭偏仪的光谱匹配校准方法，包括：基于参考检测系统测量标定样件的光学表征参数；获取标定样件在目标检测系统测量下的光强谐波信号，并基于所述光强谐波信号计算相应的测量傅里叶系数；基于目标检测系统的测量傅里叶系数与理论傅里叶系数，对目标检测系统的系统参数进行校正。本发明在不改变仪器物理状态下，通过光谱匹配校准方法让检测系统的参数自适应调整，在保证高精度和稳定性的前提下，实现了目标检测系统和参考检测系统的测量一致性，满足实际半导体工业生产需求。 |
