一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指
基本信息
申请号 | CN202023013349.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213583735U | 公开(公告)日 | 2021-06-29 |
申请公布号 | CN213583735U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 李瑞海 | 申请(专利权)人 | 宁波丽成复合材料制品有限公司 |
代理机构 | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 侯申飞 |
地址 | 315177浙江省宁波市海曙区望春工业园区杉杉路181号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及机械技术领域,尤其为一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指,包括碳纤维手指主体、第一真空吸盘、第二真空吸盘、真空吸附/释放总管、真空压力传感器和旋转联轴器以及旋转轴,所述碳纤维手指主体的底部左侧外沿前后两端安装有第一真空吸盘,所述碳纤维手指主体的底部左侧外沿中心处安装有第二真空吸盘,所述碳纤维手指主体的内部设有安装腔,整体装置结构简单,具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果,具有实时监测真空压力便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用,同时具有旋转连接结构,便于外部驱动水平旋转调节使用且稳定性和实用性较高,具有一定的推广价值。 |
