一种梁膜结构的超低微压传感器芯片
基本信息
申请号 | CN202122264785.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215910026U | 公开(公告)日 | 2022-02-25 |
申请公布号 | CN215910026U | 申请公布日 | 2022-02-25 |
分类号 | G01L1/20(2006.01)I;G01L9/02(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 奎建明 | 申请(专利权)人 | 淮安纳微传感器有限公司 |
代理机构 | 江苏长德知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈飞 |
地址 | 223000江苏省淮安市淮阴区(工业园区)南昌路605号三层 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种梁膜结构的超低微压传感器芯片,包括组成梁膜结构传感器芯片的第一基底和第二基底,所述第一基底内侧各边位置均设置有一挂钩,并在所述第二基底上对应挂钩的位置均开设有通孔,利用所述挂钩弹性形变来穿过通孔,且利用其弹性复位来钩挂在通孔位置,以连接所述第一基底和第二基底,此梁膜结构的超低微压传感器芯片,区别于现有技术,该梁膜结构的传感器芯片的两个基底利用挂钩的方式进行连接,在保证稳定对接使用的基础上,当其遇到故障损坏时,可利用触动部件以方便的取消挂钩的钩挂固定,即可直接对两个基底进行拆卸,进而有效方便其内部各元件的检修运维,避免直接遗弃、更换所导致的成本增加和资源浪费的问题。 |
