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一种蓝宝石图形化衬底自动检测设备

基本信息

申请号 CN201310710536.8 申请日 -
公开（公告）号 CN103728312A 公开（公告）日 2014-04-16
申请公布号 CN103728312A 申请公布日 2014-04-16
分类号 G01N21/88(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 丁奎 申请（专利权）人 徐州万邦道路工程装备服务股份公司
代理机构 徐州支点知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 刘新合
地址 221000 江苏省徐州市高新技术产业开发区第二工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种蓝宝石图形化衬底自动检测设备，包括计算机系统、载物台和屏幕。通过采集晶圆表面图案与正常图案对比后，将异常区域图像反馈到屏幕上，由人工确认，可以大大提高检验速度与检出率。