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一种晶舟盒

基本信息

申请号 CN201310707175.1 申请日 -
公开（公告）号 CN103730396A 公开（公告）日 2014-04-16
申请公布号 CN103730396A 申请公布日 2014-04-16
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 丁奎 申请（专利权）人 徐州万邦道路工程装备服务股份公司
代理机构 徐州支点知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 徐州万邦道路工程装备服务股份公司
地址 221000 江苏省徐州市高新技术产业开发区第二工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶舟盒，包括U型盒盖和放置晶圆的盒体。U型盒盖内侧镀有反光层，通过铰链与盒体连接。打开合盖后，通过镀层的反光与聚焦，可以方便的判断晶圆的正反面。