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高对比度光栅垂直腔面发射激光器及制造方法

基本信息

申请号 CN202010047048.3 申请日 -
公开（公告）号 CN111211488A 公开（公告）日 2020-05-29
申请公布号 CN111211488A 申请公布日 2020-05-29
分类号 H01S5/183 分类 基本电气元件;
发明人 沈志强 申请（专利权）人 浙江博升光电科技有限公司
代理机构 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 郭栋梁
地址 314116 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道振源路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种高对比度光栅垂直腔面发射激光器及制造方法，高对比度光栅垂直腔面发射激光器，包括：层叠设置的第一反射器层、有源层及第二反射器层；所述第二反射器层包括氧化物隔离层和光栅层，所述氧化物隔离层位于所述光栅层和所述有源层之间，所述光栅层至少部分区域设置有光栅，所述光栅的栅槽延伸至所述氧化物隔离层，所述氧化物隔离层设置有第一氧化区域，所述第一氧化区域支撑所述光栅，所述第一氧化区域的折射率小于所述光栅的折射率。上述方案，第一氧化区域对光栅进行支撑，而并非如现有技术中的光栅悬浮于凹槽上，因此光栅不易于被损坏，另外，由于第一氧化区域的支撑作用，光栅可以采用条状、网状、柱状等结构。