一种钽酸锂芯片的研磨装置
基本信息
| 申请号 | CN201520135368.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204546248U | 公开（公告）日 | 2015-08-12 |
| 申请公布号 | CN204546248U | 申请公布日 | 2015-08-12 |
| 分类号 | B24B37/005(2012.01)I;B24B37/08(2012.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 尹明;汪力 | 申请（专利权）人 | 昆山科尼电子器材有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215325 江苏省苏州市昆山市周庄镇敏锐路4号昆山科尼电子器材有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种钽酸锂芯片的研磨装置，包括机台，机台上设有可转动的下研磨盘，下研磨盘为圆形；下研磨盘上设有能转动的上研磨盘，上研磨盘也为圆形，且直径与下研磨盘一致；上研磨盘的转动轴心与下研磨盘一致，但转动方向相反；机台还设有频率监测装置，上研磨盘的上端面设有多个供频率监测装置的探测头伸入的通孔，频率监测装置与驱动下研磨盘和上研磨盘的电机电气连接。该实用新型的一种钽酸锂芯片的研磨装置，能提高钽酸锂芯片的研磨的成品率，且加工成本低。 |
