一种热释电超薄芯片贴膜治具

基本信息

申请号 CN201520099645.5 申请日 -
公开(公告)号 CN204547272U 公开(公告)日 2015-08-12
申请公布号 CN204547272U 申请公布日 2015-08-12
分类号 B32B37/10(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 层状产品;
发明人 李庆华 申请(专利权)人 昆山科尼电子器材有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215325 江苏省苏州市昆山市周庄镇敏锐路4号昆山科尼电子器材有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种热释电超薄芯片贴膜治具,包括底座,所述底座为矩形形状;所述底座上表面设有放置所述热释电超薄芯片的多个凹槽,所述凹槽为长方形,所述凹槽的底部低于所述底座上表面一预定的数值;所述凹槽底部设有多个吸气孔,所述底座侧面设有一抽气孔,多个所述吸气孔与所述抽气孔通过底座内的气流通道连通,所述气流通道除连接到所述吸气孔和抽气孔外,与外界不连通;所述抽气孔安装有真空泵。该实用新型的一种热释电超薄芯片贴膜治具,能快速粘贴Tep纸,提高成品率,而结构简单、成本低。