一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡及其制备方法

基本信息

申请号 CN201310517895.1 申请日 -
公开(公告)号 CN104559801A 公开(公告)日 2015-04-29
申请公布号 CN104559801A 申请公布日 2015-04-29
分类号 C09G1/10(2006.01)I 分类 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用;
发明人 尹明;汪力 申请(专利权)人 昆山科尼电子器材有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215325 江苏省苏州市昆山市周庄镇敏锐路4号昆山科尼电子器材有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡,包括以下质量百分比的组分:35%-45%的脂松香、25%-35%的松香脂、20%-30%的川蜡和4%-6%的黄蜂蜡;采用本发明所提供的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡,降低了生产成本,可以在不同环境温度下使用,可以在加压抛光情况下硅片不跑片,同时除蜡方便并容易清洗。