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一种氧化锌镓磁控溅射靶材的制备方法

基本信息

申请号	CN202110799278.X	申请日	-
公开（公告）号	CN113637941A	公开（公告）日	2021-11-12
申请公布号	CN113637941A	申请公布日	2021-11-12
分类号	C23C14/08（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	刘艺;张训龙;张锦	申请（专利权）人	安徽锦华氧化锌有限公司
代理机构	合肥广源知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	徐国法
地址	238100安徽省马鞍山市含山县仙踪镇江淮小夏4-7幢
法律状态	-

摘要

本发明属于属于氧化锌材料技术领域，尤其是一种氧化锌镓磁控溅射靶材的制备方法，本发明本身具有粘结定型作用，而羟基氧化镓本身又可以在高温烧结下形成氧化镓，既实现了镓掺杂的目的，又无需使用聚乙烯醇等有机胶黏剂无需排胶，一举多得。以往采用有机粘结剂也好，氧化锌粉末物理直接混合也好，实际上并不能充分混合均匀，会发生局部富集，且因为有机粘结成分分解形成较大气孔洞的存在以及氧化物的不均匀分布，以往的机械混粉工艺严重影响了制备的氧化锌等溅射靶材的质量。本发明公开的方法规避了传统方法带来的缺陷，适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low‑E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌镓磁控溅射靶材。