一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备
基本信息
| 申请号 | CN202120229963.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214125594U | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN214125594U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | H05H1/02（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 苏宜鹏;冼健威;李南杰 | 申请（专利权）人 | 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘汉民 |
| 地址 | 523000广东省东莞市长安镇乌沙社区振伟路6号二楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，用于对样品进行等离子处理，包括机架，机架上设有等离子电源、抽真空泵，机架内还设有一真空腔体，真空腔体内设有可拆卸的由横电极板或/和竖电极板构成的电极板组件，电极板组件由真空腔体开口处推入；抽真空泵与真空腔体导通，启动抽真空泵使得真空腔体处于真空状态；真空腔体的进气孔通过气管与供气设备连接；等离子电源连接一匹配器，匹配器通过电极件与横电极板或竖电极板连接。该等离子设备可实现对不同类型样品等离子处理需求，人工成本降低、生产效率提高、处理清洗效果更好。 |
