一种基于碳纳米管薄膜及光刻胶的柔性压力传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201710184017.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106953001B | 公开（公告）日 | 2019-01-22 |
| 申请公布号 | CN106953001B | 申请公布日 | 2019-01-22 |
| 分类号 | H01L41/047;H01L41/083;H01L41/22;H01L41/27;H01L41/29 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 桂许春;梁秉豪;陈文骏;汤子康 | 申请（专利权）人 | 广州烽鼎医疗科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 中山大学;广州烽鼎医疗科技有限公司 |
| 地址 | 510275 广东省广州市海珠区新港西路135号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于碳纳米管薄膜及光刻胶的柔性压力传感器。该传感器采用三文治结构，碳纳米管薄膜与透明柔性基底结合形成自支撑的碳纳米管薄膜电极层，具有微孔结构的光刻胶薄层夹在两层碳纳米管薄膜电极层中间。其制备方法为先转移碳纳米管薄膜到柔性基底上，形成碳纳米管薄膜柔性电极，然后在柔性电极上进行光刻，使电极上覆盖一层多孔的光刻胶绝缘层，最后再覆盖一层相同的碳纳米管薄膜柔性电极。本发明的压力传感器，利用接触电阻随接触面积迅速改变的性质，实现了一种高灵敏度、低功耗、透明和超薄的压力传感器，同时也具有快速响应、高空间分辨率以及易于集成和低成本等优势。 |
