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一种基于具有尖锥结构石墨烯的高灵敏度压力传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710186504.0 申请日 -
公开（公告）号 CN107101752B 公开（公告）日 2019-09-27
申请公布号 CN107101752B 申请公布日 2019-09-27
分类号 G01L1/16（2006.01）I; G01L9/08（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 桂许春; 陈文骏; 梁秉豪; 汤子康 申请（专利权）人 广州烽鼎医疗科技有限公司
代理机构 广州新诺专利商标事务所有限公司 代理人 中山大学;广州烽鼎医疗科技有限公司
地址 510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于具有尖锥结构石墨烯的高灵敏度压力传感器。该压力传感器是表面带有尖锥结构的石墨烯和其他绝缘且多孔的二维材料的复合结构。首先将绝缘多孔的其他二维材料覆盖于带有尖锥结构的石墨烯上并镀电极，然后将镀电极后的另一块带有尖锥结构的石墨烯置于绝缘多孔的二维材料之上得到具有类似三文治结构的压力传感器。石墨烯尖锥结构的高度、宽度和分布密度都是均匀、可控的。绝缘多孔的二维材料的孔分布是均匀的，孔径和孔深都是可控的。本发明实现了一种基于具有尖锥结构石墨烯的高灵敏度压力传感器，并提供了其简便、快速和大规模制备的方法，其可用于新型柔性电子器件如人工智能等领域。