一种柔性触觉传感阵列结构

基本信息

申请号 CN201510463245.2 申请日 -
公开(公告)号 CN105181203B 公开(公告)日 2018-12-04
申请公布号 CN105181203B 申请公布日 2018-12-04
分类号 G01L5/00 分类 测量;测试;
发明人 孟博;程晓亮 申请(专利权)人 北京微能高芯科技有限公司
代理机构 北京市商泰律师事务所 代理人 毛燕生
地址 100081 北京市海淀区海淀大街3号鼎好电子大厦A座1521B
法律状态 -

摘要

摘要 一种柔性触觉传感阵列结构,属于柔性触觉传感阵列技术领域。通过集成的摩擦电触觉传感阵列,实现对触觉信号的采集。包括由多个摩擦电传感单元构成的摩擦电传感阵列以及上接地电极、下接地电极组成。传感单元由上摩擦层、上绝缘基底、下摩擦层、下绝缘基底以及上感应电极、下感应电极组成。上绝缘基底、下绝缘基底为聚酰亚胺薄膜;表面镀金的微米阵列结构作为上摩擦层,位于上绝缘基底背面,下绝缘基底同时兼做下摩擦层。本发明柔性触觉传感阵列利用摩擦电传感单元提供主动传感信号,具备采集能量完成自供电的能力。接地电极实现双单电极的信号采集模式,能够有效简化器件结构,减小相邻单元之间的信号干扰,有效提高分辨率。