一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台

基本信息

申请号	CN201910553213.X	申请日	-
公开（公告）号	CN112130419A	公开（公告）日	2020-12-25
申请公布号	CN112130419A	申请公布日	2020-12-25
分类号	G03F7/20	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	姜燕燕;陆敏杰;周俊晨	申请（专利权）人	无锡星微科技有限公司
代理机构	无锡市朗高知识产权代理有限公司	代理人	无锡星微科技有限公司
地址	214000 江苏省无锡市新吴区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园F7-301
法律状态	-

摘要

本发明提供一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，包括大理石基座，大理石基座上平行设置有Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨，Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨上分别安装有Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置，Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置之间垂直连接有平行的X1向导轨和X2向导轨，X1向导轨和X2向导轨上通过气浮相互作用设置有X向气浮导向装置，X向气浮导向装置上安装有载物台。本发明采用XY双向双驱气浮导轨，XY导向面均安装关节式气浮垫，可降低加工安装精度，从而实现大尺寸晶圆等检测的运动平台，且可使载物平面跳动1个微米，以满足行业尺寸日愈增大的趋势和日愈严格的检测要求，且维护简单，不污染洁净室。