一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台
基本信息
| 申请号 | CN201910553212.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112130418A | 公开（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申请公布号 | CN112130418A | 申请公布日 | 2020-12-25 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陆敏杰;周俊晨 | 申请（专利权）人 | 无锡星微科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡星微科技有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区太湖国际科技园菱湖大道200号中国传感网国际创新园F7-301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台，包括：激光刻写仪器，用于在待刻写玻璃刻写光栅尺；X轴粗动直线轴，用于光栅尺刻写时，使玻璃在X轴方向上做扫描运动；RZ微动旋转轴，安装于X轴粗动直线轴上，用于对X轴粗动直线轴运动产生的误差进行补偿；Y轴粗动轴，用于光栅尺刻写时，带动激光刻写仪器进行运动；RXYZ微动轴，用于对X轴粗动直线轴、Y轴粗动轴运动产生的误差进行补偿，使用了光栅尺与激光干涉仪相结合的反馈方式，使得平台自身的精度大大提高了；且增加了XY方向上的行程，使得生产的光栅尺长度增加了；X轴、RZ轴、Y轴、RXYZ的结合，可以消除平台自身的误差，提高了生产的光栅尺的精度等级。 |
