首页/ 无锡星微科技有限公司/ 专利详情

硅片视觉检测设备

基本信息

申请号 CN201930722903.4 申请日 -
公开（公告）号 CN306111665S 公开（公告）日 2020-10-20
申请公布号 CN306111665S 申请公布日 2020-10-20
分类号 10-05 (12) 分类 -
发明人 陆敏杰 申请（专利权）人 无锡星微科技有限公司
代理机构 无锡市朗高知识产权代理有限公司 代理人 无锡星微科技有限公司
地址 214000江苏省无锡市滨湖区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06
法律状态 -

摘要

摘要 1.本外观设计产品的名称：硅片视觉检测设备。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品利用相机、激光测距传感器、XYZ三个运动轴完成对于硅片表面质量的检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。