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双臂大气晶圆机械手

基本信息

申请号 CN202030572519.3 申请日 -
公开（公告）号 CN306503780S 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN306503780S 申请公布日 2021-04-30
分类号 15-99 (12) 分类 -
发明人 陆敏杰 申请（专利权）人 无锡星微科技有限公司
代理机构 无锡市朗高知识产权代理有限公司 代理人 赵华
地址 214000 江苏省无锡市滨湖区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06
法律状态 -

摘要

摘要 1.本外观设计产品的名称：双臂大气晶圆机械手。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品利用双臂真空吸附晶圆，实现高效率的晶圆搬运。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。