一种硅片干燥装置及其干燥方法
基本信息
| 申请号 | CN201810807276.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109000440A | 公开（公告）日 | 2018-12-14 |
| 申请公布号 | CN109000440A | 申请公布日 | 2018-12-14 |
| 分类号 | F26B9/08;F26B21/00;F26B25/04 | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 牟恒 | 申请（专利权）人 | 江苏德尔科测控技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵丽丽 |
| 地址 | 210000 江苏省南京市江宁开发区将军大道迎翠路7号中关村软件园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种硅片干燥装置及其干燥方法，涉及硅片加工制造领域，包括：一种硅片干燥装置，包括：一架体，所述架体具有：通孔，所述通孔连接所述架体内外，所述通孔至少为一个；一烘干装置，所述烘干装置包括：一吹风机，电阻加热丝，一抽风机；一震动装置；一放置装置，所述放置装置包括：一硅片烘干架，所述硅片烘干架通过所述通孔与所述震动装置连接，解决了现有技术中硅片干燥效率低的问题。 |
