一种硅片清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN201810807376.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109003920B | 公开（公告）日 | 2018-12-14 |
| 申请公布号 | CN109003920B | 申请公布日 | 2018-12-14 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 牟恒 | 申请（专利权）人 | 江苏德尔科测控技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏德尔科测控技术有限公司 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港市保税区华达路36号科创园A栋2楼（德尔科） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片清洗设备，两运输装置，用于硅片的长距离的直线运输，两运输装置上下平行，一传送装置，用于硅片的短距离的直线和曲线运输，所述传送装置位于所述运输装置右侧，一清洗装置，所述清洗装置位于所述传送装置下侧；一干燥装置，用于去除清洗后的硅片上残留的清洗液，所述干燥装置位于所述传送装置右侧，实现单片硅片的自动清洗、干燥、传送，提高工作效率。 |
