基片寻边装置和光刻系统
基本信息
| 申请号 | CN202020862719.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212256006U | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN212256006U | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李华;汪光文;王晓军;王殿辉 | 申请（专利权）人 | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 地址 | 200000上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一基片寻边装置和光刻系统，该基片寻边装置基于NIKON I8光刻机进行改进，该基片寻边装置包括：载片台，用于承载基片；反射式传感器，固定于所述载片台的承载面侧；所述反射式传感器用于探测所述载片台上是否存在基片。本实用新型实施例提供的基片寻边装置，在NIKON I8光刻机的基础上，改对射式寻边为反射式寻边，以实现对透明衬底和非透明衬底的有效寻边。 |
