一种传片装置及光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202021336471.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212647260U | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN212647260U | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李华;王晓军 | 申请（专利权）人 | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 200000上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种传片装置及光刻机，其中，传片装置包括：定位顶板、定位底板、至少一对滑动手臂和至少一个装载手臂；滑动手臂可沿设定轨道往复运动；滑动手臂用于输送硅片至定位底板上；定位顶板位于定位底板的上方，使得硅片位于定位底板和定位顶板之间；定位顶板设置有传感器支架；传感器支架设置有多个接收传感器；定位底板上设置有与接收传感器一一对应设置的发射传感器；发射传感器和接收传感器用于对硅片进行定位；其中，每对滑动手臂均沿第一方向延伸；在垂直于第一方向上，每对滑动手臂之间的间距范围为66㎜～70㎜。本实用新型提供了一种传片装置及光刻机，以实现能够对4寸硅片传输的传片装置。 |
