4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统专利查询专利号|摘要-满商公司网

4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统

基本信息

申请号	CN202020861795.6	申请日	-
公开（公告）号	CN212256005U	公开（公告）日	2020-12-29
申请公布号	CN212256005U	申请公布日	2020-12-29
分类号	G03F7/20(2006.01)I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	李华;王晓军	申请（专利权）人	上海探跃半导体设备有限公司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	上海探跃半导体设备有限公司
地址	200000上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室
法律状态	-

摘要

本实用新型实施例公开了一种4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统，该4吋规格notch基片的寻边装置包括：载片台，用于承载基片；驱动组件，用于驱动载片台上的基片绕其中心旋转；发射光纤传感器，固定于载片台的底部，用于发射第一光信号，第一光信号照射至基片上；接收光纤传感器，固定于载片台的一侧，用于接收第一光信号经过基片后形成的第二光信号；处理器，与发射光纤传感器和接收光纤传感器通信连接，并根据第一光信号对应的电信号和第二光信号对应的电信号，确定基片的notch位置。本实用新型实施例提供的寻边装置，对原有寻flat信号的改造，使之具有寻notch功能，即可使Nikon G6光刻机能够实现4吋规格notch基片基于notch口的寻边，满足技术需求。