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一种直写式曝光机用台面清洁结构

基本信息

申请号 CN201922182846.2 申请日 -
公开（公告）号 CN211454230U 公开（公告）日 2020-09-08
申请公布号 CN211454230U 申请公布日 2020-09-08
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 -
发明人 肖磊 申请（专利权）人 上海探跃半导体设备有限公司
代理机构 北京华识知识产权代理有限公司 代理人 上海探跃半导体设备有限公司
地址 200120上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种直写式曝光机用台面清洁结构，包括曝光机本体、风机管道和电动机，所述曝光机本体的内侧安装有玻璃台面，且玻璃台面的上方设置有清洁辊，所述清洁辊的外侧连接有防护块，所述清洁辊的表面预留有吸尘孔，且清洁辊的两端通过进气管和连接管相连，所述进气管的外侧套设有齿轮，且齿轮下方的曝光机本体上固定有固定板，所述连接管的外侧套设有套块，所述电动机安装在曝光机本体的外侧，且电动机的端头处连接有电机轴。该直写式曝光机用台面清洁结构，通过粘尘贴以及吸尘的方式对台面上灰尘进行清理，能够更好的提升清洁效率，也无需对粘尘贴频繁更换，并且设有对台面进行保护的机构，能够避免对台面造成损坏。