一种新型高速数字扫描直写光刻装置
基本信息
| 申请号 | CN201420232691.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203825365U | 公开（公告）日 | 2014-09-10 |
| 申请公布号 | CN203825365U | 申请公布日 | 2014-09-10 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李平贵;张国龙;马迪 | 申请（专利权）人 | 铜陵国誉融资担保有限公司 |
| 代理机构 | 张家港市高松专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州微影光电科技有限公司;苏州微影激光技术有限公司 |
| 地址 | 215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高速数字扫描直写光刻装置，包括光源，光学照明系统，可编程图形发生器，投影光学系统，高速精密移动平台等五部分。曝光光束从光源发出，进入光学照明系统，准直成平行均匀的面光源投影至可编程图形发生器，而此时可编程图形发生器上的图形信息伴随光线进入投影光学系统，曝光光线穿过投影光学系统，最后投影成像在高速精密移动平台的基底上。本实用新型可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能数十倍的提升可编辑图形发生器的刷新频率，从而提高产品的加工速率，改善了产品加工的良率。制作工艺简单，降低了产品的生产成本。 |
