一种真空腔体结构

基本信息

申请号 CN201920973244.6 申请日 -
公开(公告)号 CN209729865U 公开(公告)日 2019-12-03
申请公布号 CN209729865U 申请公布日 2019-12-03
分类号 H01J37/32(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 蔡刚强; 王琛璐; 夏友龙 申请(专利权)人 苏州卫鹏科技有限公司
代理机构 北京东正专利代理事务所(普通合伙) 代理人 苏州卫鹏机电科技有限公司
地址 215129 江苏省苏州市高新区金山路198号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空腔体结构,其包括腔体侧壁和腔门结构,腔体侧壁围成的进出口边缘设有密封圈,腔门结构包括固定在进出口外侧的滑轨、滑动安装在滑轨上的安装架、安装在安装架中部的竖向旋转轴、安装在安装架内部并与竖向旋转轴连接的腔门、驱动竖向旋转轴旋转的驱动机构A以及驱动安装架滑动的驱动机构B,滑轨与进出口所在平面垂直,安装架与进出口所在平面平行,腔门的形状与进出口相匹配,腔门两侧分别固定有料架托盘,腔门在驱动机构A驱动作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转。本实用新型通过设置旋转真空腔门即可调换其两侧料架托盘的位置,进而实现快速更换进出材料的目的。