一种用于单晶炉的提升装置及单晶炉
基本信息
申请号 | CN201921548238.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210765579U | 公开(公告)日 | 2020-06-16 |
申请公布号 | CN210765579U | 申请公布日 | 2020-06-16 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 罗才军;关树军;刘要普;罗园;李豹 | 申请(专利权)人 | 乌海市京运通新材料科技有限公司 |
代理机构 | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 乌海市京运通新材料科技有限公司 |
地址 | 016000内蒙古自治区乌海市海勃湾工业园区装备街2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于单晶炉的提升装置,包括设在单晶炉内部且位于炉底(4)上方的提升托盘(1),以及穿过提升托盘(1)和炉底(4)的坩埚托杆(2);坩埚托杆(2)从上到下包括第一托杆部(21)和第二托杆部(22),第二托杆部(22)顶部的直径大于所述第一托杆部(21)底部的直径;提升托盘(1)位于下保温筒(3)下方且其直径大于下保温筒(3)的直径;在提升托盘(1)的轴线位置设有第一通孔(11),其直径大于第一托杆部(21)底部的直径且小于第二托杆部(22)顶部的直径。本实用新型还公开了应用该提升装置的单晶炉。本实用新型能够在停炉后快速降低石墨件温度,提高热场冷却效率,减小生产成本,提高产量。 |
