一种加速热场冷却的提升装置及单晶炉
基本信息
申请号 | CN201921548329.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN211199468U | 公开(公告)日 | 2020-08-07 |
申请公布号 | CN211199468U | 申请公布日 | 2020-08-07 |
分类号 | C30B15/00;C30B29/06 | 分类 | - |
发明人 | 罗才军;关树军;罗园;李豹;刘要普 | 申请(专利权)人 | 乌海市京运通新材料科技有限公司 |
代理机构 | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 乌海市京运通新材料科技有限公司 |
地址 | 016000 内蒙古自治区乌海市海勃湾工业园区装备街2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种加速热场冷却的提升装置及单晶炉。提升装置包括设在单晶炉内部的支撑结构(1)和提升托盘(2),支撑结构(1)设在炉底(3)上方,提升托盘(2)设在支撑结构(1)上方;提升托盘(2)、支撑结构(1)、炉底(3)和单晶炉的中轴(4)处在同一条轴线上;坩埚托杆(5)依次穿过提升托盘(2)、支撑结构(1)和炉底(3)与中轴(4)连接,中轴(4)的直径大于第二通孔(11)的直径且小于或等于第三通孔(31)的直径并顶升支撑结构(1);在提升托盘(2)上方设有下保温筒(6),下保温筒(6)的直径小于提升托盘(2)的直径。本实用新型能够提升单晶炉停炉后的降温速度、缩短耗时、提高产量。 |
