一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备
基本信息
| 申请号 | CN201821618119.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209997611U | 公开（公告）日 | 2020-01-31 |
| 申请公布号 | CN209997611U | 申请公布日 | 2020-01-31 |
| 分类号 | B01J19/08 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 郑小勇 | 申请（专利权）人 | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市港澄专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤婷 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港市锦丰镇锦南路科技创业园张家港衡德新材料科技有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备，依次包括同轴密封连接的等离子发生器、反应腔、冷却腔，所述等离子发生器包括射频电源、中频电源、等离子体管、螺旋感应圈、气体分布头。本实用新型的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制备的纳米材料纯度较高、稳定性好、形貌粒径均匀。 |
