用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器
基本信息
| 申请号 | CN201821618109.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209237921U | 公开（公告）日 | 2019-08-13 |
| 申请公布号 | CN209237921U | 申请公布日 | 2019-08-13 |
| 分类号 | B01J19/08;B82Y40/00 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 郑小勇 | 申请（专利权）人 | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市港澄专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤婷 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港市锦丰镇锦南路科技创业园张家港衡德新材料科技有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器，包括反应腔，所述反应腔两端分别同轴密封连接于等离子发生器与冷却腔，所述反应腔侧壁至少设置有一个进气环，所述进气环与所述反应腔侧壁之间密封连接，所述进气环内部形成有环形静压腔，所述反应腔侧壁开设有多个连通所述环形静压腔的旋气嘴，多个所述旋气嘴沿所述反应腔圆周方向依次排列设置，所述冷却腔内部同轴设置有一反应腔清理环，所述反应腔清理环直径略小于所述反应腔直径，所述反应腔清理环清理所述反应腔内壁。本实用新型的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制备的纳米材料纯度较高、稳定性好、形貌粒径均匀。 |
