一种大功率复合频率ICP等离子发生器
基本信息
| 申请号 | CN201811163946.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108966474A | 公开（公告）日 | 2018-12-07 |
| 申请公布号 | CN108966474A | 申请公布日 | 2018-12-07 |
| 分类号 | H05H1/46 | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 郑小勇 | 申请（专利权）人 | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市港澄专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤婷 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港市锦丰镇锦南路科技创业园张家港衡德新材料科技有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种大功率复合频率ICP等离子发生器，包括：射频电源，频率为3‑27.12MHz,功率为1‑10KW；中频电源，频率为50‑1000KHz,功率为10‑200KW；等离子体管，内部形成有等离子体发生内腔；螺旋感应圈，同轴包裹于所述等离子体管外壁，上端为所述射频电源接入端，下端为所述中频电源接入端，所述射频电源接入端下方抽头为所述射频电源、中频电源公共接地端；气体分布头，密封设置于所述等离子体管顶部。本发明的优点在于电源的成本低，可靠性高，可以大大降低感应电源的制造或采购成本。 |
