一种石墨基座
基本信息
| 申请号 | CN202020747685.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212077198U | 公开（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申请公布号 | CN212077198U | 申请公布日 | 2020-12-04 |
| 分类号 | C30B25/12(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王作义;康宏;雒林生;卞小玉;韩立琼 | 申请（专利权）人 | 四川广瑞半导体有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 唐邦英 |
| 地址 | 629000四川省遂宁市国开区玉龙路598号创新创业孵化中心4011号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨基座，包括基座本体，所述基座本体的上端面设置有多个载台，所述载台凸出于基座本体，所述基座本体的上端面在载台的外侧设置有多个限位块，多个限位块沿着载台外圆周均匀布置，所述限位块的高度大于载台的高度，所述限位块内壁与硅片的外壁接触。本实用新型实现了尽可能减少硅片装取时与石墨基座的接触面积，且便于硅片的取放。 |
