一种具有防尘结构的MEMS麦克风芯片及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110867544.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113316052A | 公开（公告）日 | 2021-08-27 |
| 申请公布号 | CN113316052A | 申请公布日 | 2021-08-27 |
| 分类号 | H04R1/08（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 山东新港电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 潍坊中润泰专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈继越 |
| 地址 | 261200山东省潍坊市坊子区正泰路1369号7号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种具有防尘结构的MEMS麦克风芯片及其制作方法，所述MEMS麦克风芯片包括：衬底，设有沿上下向贯穿的背腔；电容器结构，由设于所述衬底同一侧的振膜、背板以及所述振膜和所述背板之间的振动间隙构成；所述振膜上设有泄气阀，所述泄气阀的周边设有防尘结构；所述防尘结构的上、下端分别与所述背板和所述振膜连接。本发明公开的技术方案通过在振膜和背板之间设置将泄气阀包围的防尘结构，可在保证泄气阀泄压能力的同时，避免微尘粒子从侧向直接进入振动间隙中而造成芯片性能受损，从而提高MEMS麦克风芯片的可靠性。 |
