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一种具有泄气开关结构的MEMS麦克风

基本信息

申请号	CN202110519541.5	申请日	-
公开（公告）号	CN112954561A	公开（公告）日	2021-06-11
申请公布号	CN112954561A	申请公布日	2021-06-11
分类号	H04R19/04;H04R7/08	分类	电通信技术;
发明人	王晶晶	申请（专利权）人	山东新港电子科技有限公司
代理机构	潍坊中润泰专利代理事务所（普通合伙）	代理人	田友亮
地址	261200 山东省潍坊市坊子区正泰路1369号7号楼
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种具有泄气开关结构的MEMS麦克风，所述PCB板上设有与第一音孔连通的导音槽，所述MEMS芯片与PCB板的导音槽之间设有柔性件，所述柔性件覆盖导音槽形成导音通道，所述柔性件上设有第二音孔，所述导音通道远离第一音孔的一端连通有第三音孔，所述导音通道在第二音孔与第三音孔之间设有泄气开关结构，通过导音通道和多个第三音孔设置，实现降低气流冲击的压力峰值，导音通道和多个第三音孔在强气流下起到分流泄气的作用，防止强气流冲击MEMS芯片振膜，防止振膜破裂、麦克风功能失效等问题，提高MEMS麦克风的抗气流冲击性能，延长麦克风使用寿命。而且本申请确保了实现抗气流冲击的同时保持MEMS麦克风小型化的目标。