一种膜片、MEMS麦克风芯片及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110893662.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113347540A | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN113347540A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 山东新港电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 潍坊中润泰专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈继越 |
| 地址 | 261200山东省潍坊市坊子区正泰路1369号7号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种膜片、MEMS麦克风芯片及其制作方法，其中，所述振膜本体上设置有至少两个均匀分布的泄气阀，所述泄气阀包括活动部和孔隙；所述孔隙具有阶梯状截面，且所述阶梯状截面的“阶梯数”为一个或多个。本发明公开的技术方案，通过设置孔隙截面为阶梯状的泄气阀，不仅可以在受到剧烈冲击时打开，起到快速释放压力的作用，还可非打开状态时，增加孔隙对空气的阻尼，从而改善MEMS麦克风芯片的低频响应；此外，由于采用阶梯状结构，低频响应对孔隙尺寸偏差的敏感度降低，因此可降低工艺精度要求，提高产品的成品率和一致性。 |
