一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110380036.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112802956B | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN112802956B | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | H01L35/28（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;G01J5/12（2006.01）I;H01L35/34（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 山东新港电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 潍坊中润泰专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 田友亮 |
| 地址 | 261200山东省潍坊市坊子区正泰路1369号7号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法，该红外探测器包括：衬底，设有隔热腔体；支撑层，形成于衬底的上表面；热电堆单元，形成于支撑层上，从下至上依次包括第一热偶层、第一绝缘层和第二热偶层，且第一、第二热偶层通过第一绝缘层中的第一接触孔连接；第二绝缘层、电磁屏蔽层、红外吸收层，依次形成于热电堆单元上，且对红外吸收层和第二绝缘层局部刻蚀出第二接触孔。本发明通过在红外吸收层下方设置可接地的电磁屏蔽层，实现电磁屏蔽，从而有利于减小测量误差，提高探测器的可靠性；此外，该电磁屏蔽层还可对被测物体产生的红外辐射进行反射，有助于红外吸收层进行二次吸收，从而提高其红外吸收率，增强红外探测性能。 |
