一种匀流板、进气装置及外延设备
基本信息
| 申请号 | CN202210109814.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114481309A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114481309A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | C30B25/08（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B25/16（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 刘自强;燕春;杨进 | 申请（专利权）人 | 江苏天芯微半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区新梅路58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种匀流板，用于外延设备的进气装置，包含：匀流板主体，包括相对的第一平面以及第二平面；多个第一台阶和多个第二台阶，多个所述第一台阶设置于所述第一平面，多个所述第二台阶设置于所述第二平面；所述多个第一台阶分别与所述多个第二台阶位置对应；多组通孔，每一组通孔对应设置于一个第一台阶，所述通孔依序穿设所述第一台阶、匀流板主体、第二台阶，用于在所述外延设备的工艺期间提供通过所述匀流板的气体通道；多个所述第一台阶、多个所述第二台阶分别嵌入进气焊件、进气插入件内，用于减小匀流板与进气焊件、进气插入件之间的间隙，防止匀流板的振动。 |
