一种晶圆传输用机器人末端托片及半导体设备
基本信息
| 申请号 | CN202121286466.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215815831U | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN215815831U | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨永雷;燕春;杨进 | 申请（专利权）人 | 江苏天芯微半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | 曹媛;张双红 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区行创四路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆传输用机器人末端托片及半导体设备，所述机器人末端托片形成有一向内凹陷的用于承载晶圆的承载区域，所述承载区域内包括相连接的第一自定心接触面和第二自定心接触面；所述第二自定心接触面在所述凹陷内的位置低于所述第一自定心接触面在所述凹陷内的位置，所述第二自定心接触面的倾斜角度小于所述第一自定心接触面的倾斜角度；在自定心结束后，所述第二定心接触面作为所述晶圆的支撑面。本实用新型能够保证传输过程中晶圆会自动定心到达理想位置。 |
