一种灯模组及衬底处理设备
基本信息
| 申请号 | CN202111528896.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114373696A | 公开（公告）日 | 2022-04-19 |
| 申请公布号 | CN114373696A | 申请公布日 | 2022-04-19 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 秦志坚;燕春;杨进 | 申请（专利权）人 | 江苏天芯微半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张双红;包姝晴 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区行创四路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种灯模组及衬底处理设备，灯膜组的上灯模组和/或所述下灯模组包括：内灯组和外灯组，所述内灯组包括若干个内灯，且所有所述内灯呈圆周分布；外灯组包括若干个外灯，且所有所述外灯呈圆周分布。所述内灯组的内灯数量为12个，所述外灯组的外灯数量为30个；一个所述内灯与一个所述外灯之间功率比为1:1.1～1:1.25；所述上灯模组和/或下灯模组还包括：上下调节装置和安装装置。本发明可以对衬底表面温度进行分区控制，从而保证衬底表面温度的均匀性，降低开腔频率，且上下调节装置可以有效调节灯丝的倾斜，还可以在安装时调整灯的水平度，从而进一步地保证温度地均匀性。 |
