一种用于衬底处理设备的信号调制模组
基本信息
| 申请号 | CN202111661136.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114384841A | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN114384841A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | G05B19/042（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 尤松 | 申请（专利权）人 | 江苏天芯微半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张双红;张静洁 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区行创四路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于衬底处理设备的信号调制模组，包括：壳体，设置在所述壳体上的若干个接口，所述接口用于接收所述衬底处理设备的外围器件产生的信号；PCB底板，所述PCB底板上设有至少一个信号输入端和至少一个信号输出端，所述若干个接口分别与信号输入端一一电连接；若干个PCB立板，所述PCB底板和若干个PCB立板设置在所述壳体的内部，若干个所述PCB立板间隔设置在所述PCB底板上；所述PCB立板包括调压调序电路，用于调节信号的电压和将信号调制成所述衬底处理设备预定义的标准信号排序。本发明实现了减小尺寸，适用于多种外围器件的自由替换，多种信号排序自由替换，以及减小运算量的目的。 |
