首页/ 江苏天芯微半导体设备有限公司/ 专利详情

一种反射板组、灯组模块、衬底处理设备及反射板组的调节方法

基本信息

申请号 CN202111546164.0 申请日 -
公开（公告）号 CN114420585A 公开（公告）日 2022-04-29
申请公布号 CN114420585A 申请公布日 2022-04-29
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H05B3/00（2006.01）I;G02B7/182（2021.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 秦志坚;燕春;杨进 申请（专利权）人 江苏天芯微半导体设备有限公司
代理机构 上海元好知识产权代理有限公司 代理人 张双红;张静洁
地址 214028江苏省无锡市新吴区行创四路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种反射板组、灯组模块、衬底处理设备及反射板组的调节方法，反射板组包括内圈反射板组、外圈反射板组及设置于内圈反射板和外圈反射板之间的分隔板，所述分隔板用于将内圈灯组和外圈灯组发射的热辐射隔开，所述分隔板的沿长度方向延伸的厚度的中间线相对于竖直方向具有倾斜角度，所述倾斜角度大于零度，所述倾斜角度用于确保所述衬底上的温度分布的均匀性。本发明通过调节倾斜角度可以实现内外区的独立控温。