一种振镜重复定位精度检测装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202110867454.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113310672B | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN113310672B | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | G01M11/02（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王雪辉;戚云飞;许维;雷桂明 | 申请（专利权）人 | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京集智东方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴倩;龚建蓉 |
| 地址 | 430223湖北省武汉市东湖新技术开发区未来二路66号（自贸区武汉片区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种振镜重复定位精度检测装置及方法，其包括：激光器组件、准直扩束镜、分光镜、振镜、第一聚焦镜头、第一图像传感器、第二聚焦镜头、第二图像传感器、振镜控制组件、控制单元以及计算单元；所述第一传感器用于获取所述参考光束的光斑图像；所述第二图像传感器用于获取所述测试光束的光斑图像；所述控制单元用于通过振镜控制组件控制所述振镜进行若干次扫描；所述计算单元用于获取振镜完成若干次扫描后的真实角度误差。其通过将激光光束分为参考光束和测试光束，并获取两路光束的光斑图像抵消掉误差，从而使振镜的位置检测结果更为精确，且可以大幅提高检测效率。 |
