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一种高纯六氯乙硅烷用生产设备及其耐蚀纯净处理方法

基本信息

申请号 CN202111310192.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113862744A 公开（公告）日 2021-12-31
申请公布号 CN113862744A 申请公布日 2021-12-31
分类号 C25D7/04（2006.01）I;C25D5/36（2006.01）I;C25D5/48（2006.01）I;C25D5/52（2006.01）I;C25D21/12（2006.01）I 分类 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人 郭之军;蒋飚;李能武;祝飘;赵和英;彭小敏;张光祥;陈松华 申请（专利权）人 贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
代理机构 贵阳春秋知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 李万强
地址 550000贵州省贵阳市白云区新材料产业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高纯六氯乙硅烷用生产设备及其耐蚀纯净处理方法，该高纯六氯乙硅烷用生产设备所有管道均采用奥氏体不锈钢材料制造、设置有抽真空的装置和充入保护气体的装置、为两级蒸馏冷凝结构；其中不锈钢管道内表面固定有防护层，该防护层由外及里分布有厚度75μm‑80μm的复合层、5μm‑8μm的锌镍混合层、12μm‑20μm的铝镀层和不锈钢基体层；其中复合层由氧化铝、氧化铅、碳化钨、氧化铈密排混合而成。该高纯六氯乙硅烷用生产设备内表面防护性好、表面完整性高、呈较高程度惰性、结合力强、使用寿命长、致密度好。