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一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针

基本信息

申请号 CN201120144518.4 申请日 -
公开（公告）号 CN202103008U 公开（公告）日 2012-01-04
申请公布号 CN202103008U 申请公布日 2012-01-04
分类号 H01J37/244(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 国宁 申请（专利权）人 宁波表面工程研究院有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 315177 浙江省宁波市鄞州区古林镇科创南路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针，它包括绝缘陶瓷管和金属丝制探针丝，绝缘陶瓷管外侧设有屏蔽作用的不锈钢套管，不锈钢套管和陶瓷管之间设有支撑弹簧，不锈钢套管的前端密封焊合，并留有一小孔，陶瓷管内穿进探针丝，探针丝的末端与导线连接，探针丝头穿出不锈钢套管前端的小孔，探针头露在小孔外面。本实用新型采用在放电区域的陶瓷管外，套一具有弹簧支撑的不锈钢套管的结构，以防止溅射产物直接沉积在绝缘陶瓷管上，离子渗金属等离子体诊断时，在探针上加偏置电压，使探针表面的污染在真空中溅射去除。