一种自动化镀膜装置

基本信息

申请号 CN201921204489.9 申请日 -
公开(公告)号 CN210765489U 公开(公告)日 2020-06-16
申请公布号 CN210765489U 申请公布日 2020-06-16
分类号 C23C14/34(2006.01)I 分类 -
发明人 钱成东 申请(专利权)人 苏州华融同创科技有限公司
代理机构 南京禾易知识产权代理有限公司 代理人 南京华融东创智能科技有限公司;苏州华融同创科技有限公司
地址 210009江苏省南京市鼓楼区汉中门大街301号302-2室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种自动化镀膜装置,涉及镀膜技术领域,为解决现有自动化镀膜装置真空效果不全面,影响后续成品质量的问题。所述自动镀膜机的前端面设置有自动镀膜机防护门,所述自动镀膜机防护门的前端面设置有观测窗,所述观测窗的一侧设置有防护门把手,所述自动镀膜机的上方设置有伺服电机,所述伺服电机的下表面设置有联轴器,所述联轴器的下表面设置有传动杆,所述传动杆的两侧均设置有悬挂臂,且悬挂臂设置有六个,所述悬挂臂的一端设置有镀膜原件,所述自动镀膜机的内部设置有真空腔,所述传动杆的后端面设置有加热孔,且加热孔设置有若干个,所述自动镀膜机的另一侧设置有等离子通道。